OXIDE SINTERED BODY, METHOD FOR PRODUCING SAME AND SPUTTERING TARGET

摘要

InO으로 구성되는 빅스바이트상과 ABO상 (식 중, A 는 Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb 및 Lu 로 이루어지는 군에서 선택되는 1 이상의 원소이고, B 는 Al 및 Ga 로 이루어지는 군에서 선택되는 1 이상의 원소이다.) 을 함유하는 산화물 소결체.