| 发明名称 | 添加剂组合物、含有该添加剂组合物的淤浆组合物及使用该淤浆组合物抛光物体的方法 | ||
| 摘要 | 一种用于淤浆的添加剂组合物，包括含具有第一重均分子量的第一聚合酸和第一碱性材料的第一聚合酸盐；和含具有第二重均分子量的第二聚合酸和第二碱性材料的第二聚合酸盐。通过混合添加剂组合物、抛光粒子组合物和水制备淤浆组合物。当使用该淤浆组合物进行化学机械抛光时，可实现有利的抛光选择性。 | ||
| 申请公布号 | CN1311009C | 申请公布日期 | 2007.04.18 |
| 申请号 | CN02814368.X | 申请日期 | 2002.11.14 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 金男寿;林永;姜景汶;李东峻;全相文;李世哲;苏在贤 |
| 分类号 | C08J5/14(2006.01);C08L101/00(2006.01);C09G1/16(2006.01) | 主分类号 | C08J5/14(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 郭国清;樊卫民 |
| 主权项 | 1.一种用于淤浆的添加剂组合物，包括：第一聚合酸盐，其包括第一聚合酸；所述的聚合酸为选自聚丙烯酸、聚丙烯酸-共-马来酸和聚甲基乙烯基醚-交替-马来酸的至少一种，所述第一聚合酸盐包括选自氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化铵、氢氧化四甲铵、氢氧化四乙铵、氢氧化四丙铵和氢氧化四丁铵的至少一种的第一碱性化合物，所述第一聚合酸具有第一重均分子量；及第二聚合酸盐，其包括第二聚合酸；所述的聚合酸为选自聚丙烯酸、聚丙烯酸-共-马来酸和聚甲基乙烯基醚-交替-马来酸的至少一种，所述第二聚合酸盐包括选自氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化铵、氢氧化四甲铵、氢氧化四乙铵、氢氧化四丙铵和氢氧化四丁铵的至少一种的第二碱性化合物，其中所述第二聚合酸的第二重均分子量为所述第一聚合酸的第一重均分子量的10～1,000倍，其中所述的添加剂组合物的pH范围为4.5～8.8，其中基于所述的第一和第二聚合酸盐的总和，所述的第一聚合酸盐的量为50wt～95wt％，所述的第二聚合酸盐的量为5wt～50wt％。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||