| 发明名称 | 锡钛酸钡铁电薄膜的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明属于制备非铅系锡钛酸钡BTS铁电薄膜的方法领域。本发明所述的Ba(Ti，Sn)O<SUB>3</SUB>铁电薄膜的制备方法，其中成分锡所用的原料是二丁基氧化锡((C<SUB>4</SUB>H<SUB>9</SUB>)<SUB> 2</SUB>SnO)。与醋酸锡相比，本发明所使用的原材料二丁基氧化锡价格便宜、易购买，用其制备出的锡钛酸钡铁电薄膜同样具有较好的性能。本发明所使用的方法在和Si工艺的集成过程中没有铅的污染。与钛酸锶钡(BST)相比，在结构上，锡钛酸钡Ba(Ti，Sn)O<SUB>3</SUB> (BTS)材料属于ABO<SUB>3</SUB>钙钛矿结构中的B位替代，其晶粒尺寸可以在比较大的范围内调整；性能上，相对于薄膜材料降低了漏导，提高了耐压特性。 | ||
| 申请公布号 | CN1947863A | 申请公布日期 | 2007.04.18 |
| 申请号 | CN200510030500.0 | 申请日期 | 2005.10.13 |
| 申请人 | 同济大学 | 发明人 | 翟继卫;宋三年 |
| 分类号 | B05D5/12(2006.01);B05D1/00(2006.01);B05D3/02(2006.01);B05C9/08(2006.01);H01L41/22(2006.01) | 主分类号 | B05D5/12(2006.01) |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所 | 代理人 | 余明伟;宁芝华 |
| 主权项 | 1、Ba(Ti，Sn)O3铁电薄膜的制备方法，其特征在于，成分锡所用的原料是二丁基氧化锡。 | ||
| 地址 | 200092上海市四平路1239号 | ||