| 摘要 |
本発明の課題は、高温高湿の使用環境下でも優れたガスバリアー性を維持し、かつフレキシブル性（屈曲性）及び密着性に優れたガスバリアー性フィルムの製造方法及びガスバリアー性フィルムと、それを用いた電子デバイス素子を提供することである。本発明のガスバリアー性フィルムの製造方法は、樹脂基材の一方の面上に、炭素原子、ケイ素原子及び酸素原子を含有するガスバリアー層を備え、該樹脂基材のガスバリアー層を有する面とは反対側の面上に導電層を有するガスバリアー性フィルムの製造方法であって、前記ガスバリアー層は、有機ケイ素化合物を含む原料ガスと酸素ガスとを用いて、磁場を印加したローラー間に放電空間を有する放電プラズマ化学気相成長法により形成し、前記導電層は、２３℃、５０％ＲＨの環境下における表面比抵抗値が１×１０３〜１×１０１０Ω／□の範囲内にあることを特徴とする。 |
