レジスト組成物

摘要

本発明のレジスト組成物は、レジスト基材と溶媒とを含むレジスト組成物であって、該レジスト基材が特定の立体異性体を含有し、且つ該レジスト基材に占める前記特定の立体異性体の割合が５０〜１００質量％である。