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发明名称 WAFER TRANSFER ROBOT APPARATUS MOVING WITH GEAR
摘要
申请公布号 KR20070041163(A) 申请公布日期 2007.04.18
申请号 KR20050097026 申请日期 2005.10.14
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SIM, YOUNG SUB
分类号 B25J5/00 主分类号 B25J5/00
代理机构 代理人
主权项
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