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发明名称 RETAINER RING OF CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20070041031(A) 申请公布日期 2007.04.18
申请号 KR20050096705 申请日期 2005.10.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, DONG KEUN;KO, YONG SUN;YOON, BYOUNG MOON;KIM, KYUNG HYUN
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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