钒酸钇单晶片的批量加工工艺

摘要

钒酸钇单晶片的批量加工工艺，用X射线定向仪对钒酸钇单晶材料定向，用蜡把钒酸钇单晶材料固定好，用切割机切出钒酸钇晶片；选用窄于钒酸钇单晶片厚度的玻璃条，把所要上盘的晶片和玻璃条均匀涂上蜡，玻璃条摆成许多小方格，把晶片放入小方格中；用磨棒在晶片之间的沟滑动；在二轴机或四轴上用W20的金刚砂进行粗磨，用W7的金刚砂进行精磨，再进行抛光。先用氧化铈进行初抛，再用SiO₂14—16％、Na0.3％、其它杂质0.01％、其余量为水的抛光液精抛。形成了整体上盘，整体倒角，解决了倒角难题，大幅度降低产品成本，大大提高产品的质量和生产效率。

主权项

1、一种钒酸钇单晶片的批量加工工艺，按如下步骤进行：第一步：选用钒酸钇单晶材料，用X射线定向仪定向对钒酸钇单晶材料进行定向，先用标准块调零，然后测出钒酸钇单晶的晶向；第二步：用蜡把定好向的钒酸钇单晶材料固定好，根据光垂直通过平面时，反射光会返回到原发光点的原理来调节切割机的切割方向，用切割机切出钒酸钇的晶片外形；第三步：辅助卡具选用一些窄于钒酸钇单晶片厚度的玻璃条，把所要上盘的钒酸钇晶片和玻璃条均匀涂上蜡，用玻璃条摆成许多小方格，然后把钒酸钇晶片放入小方格中，最后压紧、摆齐、固定好；用一个小圆宝石棒在的行与行之间和竖与竖之间的沟内滑动而进行整盘倒角；第四步：采用W20的金刚砂在二轴机或四轴机上对钒酸钇进行粗磨，采用W7的金刚砂进行精磨；第五步：在二轴机或四轴机上进行抛光，先用氧化铈进行初抛，到砂眼被抛掉，面形基本达到要求后，采用T.S.E2040抛光液进行最后抛光，T.S.E2040抛光液的成份为：SiO2含量重量百分比：14——16％；钠(Na)重量含量：0.3％；其它杂质重量含量：0.01％；其余量为水；其中SiO2平均粒度(nm)：40——70；抛光液pH值：10.7——11.2。