发明名称
摘要
申请公布号 JP3906985(B2) 申请公布日期 2007.04.18
申请号 JP20020151089 申请日期 2002.05.24
申请人 发明人
分类号 C08G77/60;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 C08G77/60
代理机构 代理人
主权项
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