| 发明名称 |
ENDBLOCK FOR ROTATABLE TARGET WITH ELECTRICAL CONNECTION BETWEEN COLLECTOR AND ROTOR AT PRESSURE LESS THAN ATMOSPHERIC PRESSURE |
| 摘要 |
회전 가능한 마그네트론 스퍼터링 타겟과 같은 회전 가능한 스퍼터링 타겟(1)의 앤드블록(4)이 제공된다. 하나 이상의 이러한 앤드블록을 포함하는 스퍼터링 장치는, (대기압에서의 영역(9)과 달리) 진공하에서의 영역(8) 내에서 앤드블록에서 컬렉터(20)와 로터(22) 사이에 전기적 컨택(예를 들면, 브러시)(18)를 위치하는 단계를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20160108424(A) |
申请公布日期 |
2016.09.19 |
| 申请号 |
KR20167021583 |
申请日期 |
2014.12.30 |
| 申请人 |
CENTRE LUXEMBOURGEOIS DE RECHERCHES POUR LE VERREET LA CERAMIQUE S.A. (C.R.V.C.) |
发明人 |
GALAN GILBERT;USELDING JEAN PHILIPPE;COMANS GUY;SCHLOREMBERG MARCEL |
| 分类号 |
H01J37/34;C23C14/34;H01J37/32 |
主分类号 |
H01J37/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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