发明名称 | 激光光束质量测量装置 | ||
摘要 | 一种激光光束质量测量装置,包括聚焦透镜、衰减片、采集光斑的CCD和带有高速采集卡的计算机,其特点是所述的衰减片是一漫散射板,在所述的聚焦透镜和漫散射板之间有一分光器件,该分光器件由与光路成45°平行放置在光路中的第一平板和第二平板构成,该第一平板和第二平板有一错位m,第一平板的内表面的反射率为100%,第二平板内表面的反射率的取值范围为90%~99%,第二平板的外表面镀有增透膜。本实用新型可以对重复率、高能激光器的光束质量进行准确的测量,它既能对高斯光束进行测量,又能对非高斯光束的光束质量用桶中功率比的方法评价,本实用新型还具有结构简单、实用和稳定的特点。 | ||
申请公布号 | CN2890864Y | 申请公布日期 | 2007.04.18 |
申请号 | CN200620039036.1 | 申请日期 | 2006.01.18 |
申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 于永爱;唐前进;张玲玲;胡企铨 |
分类号 | G01J1/00(2006.01) | 主分类号 | G01J1/00(2006.01) |
代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
主权项 | 1、一种激光光束质量测量装置,包括聚焦透镜(1)、衰减片(5)、采集光斑的CCD(6)和带有高速采集卡(7)的计算机(8),其特征是所述的衰减片(5)是一漫散射板,在聚焦透镜(1)和漫散射板(5)之间有一分光器件(2),该分光器件(2)由与光路成45°平行放置在光路中的第一平板(3)和第二平板(4)构成,该第一平板(3)和第二平板(4)有一错位m,其中第一平板(3)的内表面的反射率为100%,第二平板(4)内表面的反射率的取值范围为90%~99%,第二平板(4)的外表面镀有增透膜,第一平板(3)和第二平板(4)的位置满足如下关系: d<m<2h×tanα L≥10×d其中:d为经该分光器件(2)后的出射光在漫散射板(5)上的两相邻光斑之间的距离,d>被测光斑在焦斑处束腰大小的倍;m为两平板之间的错位;h为两平板之间的距离;α为被测光束对第一平板(3)的入射角;L为平板的长度。 | ||
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