圆筒形低真空射频等离子体灭菌装置

摘要

本实用新型涉及一种圆筒形低真空射频等离子体灭菌装置，有一圆筒形的金属容器，一端封闭，一端设有密封门，圆筒形的金属外壳上设有过氧化氢进气口和抽真空端口，外壳内设有与外壳平行的网孔状射频电极，射频电极与外壳绝缘隔离，射频电极与射频电源的正极连接，外壳与射频电源的负极连接并接地，射频电极与外壳间形成放电区间，放电区间与过氧化氢进气口相通。采用平行于圆筒形金属容器外壳的网孔状不锈钢电极，正负极板面积大，对过氧化氢气体的电离率高、均匀性好，灭菌效果好，且使用方便，安全可靠。

主权项

1、一种圆筒形低真空射频等离子体灭菌装置，其特征在于有一圆筒形的金属容器，一端封闭，一端设有密封门，圆筒形的金属外壳上设有过氧化氢进气口和抽真空端口，外壳内设有与外壳平行的网孔状射频电极，射频电极与外壳绝缘隔离，射频电极与射频电源的正极连接，外壳与射频电源的负极连接并接地，射频电极与外壳间形成放电区间，放电区间与过氧化氢进气口相通。