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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR LOW TEMPERATURE SEMICONDUCTOR FABRICATION
摘要
申请公布号
EP1670968(A4)
申请公布日期
2007.04.18
申请号
EP20040788739
申请日期
2004.09.10
申请人
GLOBAL SILICON NET CORP.;NAGASHIMA, MAKOTO;SCHMIDT, DOMINIK
发明人
NAGASHIMA, MAKOTO;SCHMIDT, DOMINIK
分类号
C23C14/35;H01J37/34
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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