发明名称 APPARATUS FOR LOW TEMPERATURE SEMICONDUCTOR FABRICATION
摘要
申请公布号 EP1670968(A4) 申请公布日期 2007.04.18
申请号 EP20040788739 申请日期 2004.09.10
申请人 GLOBAL SILICON NET CORP.;NAGASHIMA, MAKOTO;SCHMIDT, DOMINIK 发明人 NAGASHIMA, MAKOTO;SCHMIDT, DOMINIK
分类号 C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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