发明名称 PLANARIZING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100710804(B1) 申请公布日期 2007.04.17
申请号 KR20060010834 申请日期 2006.02.03
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, JUN YONG;KIM, HO YOUNG;HONG, CHANG KI;YOON, BO UN;SHIN, SUNG HO
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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