| 发明名称 |
REMOTE CHAMBER METHODS FOR REMOVING SURFACE DEPOSITS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20070040748(A) |
申请公布日期 |
2007.04.17 |
| 申请号 |
KR20067021949 |
申请日期 |
2006.10.23 |
| 申请人 |
MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY |
发明人 |
SAWIN HERBERT HAROLD;BAI BO |
| 分类号 |
C23C16/44;B08B7/00;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/00 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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