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发明名称 POLYMER FOR TOP COATING LAYER, TOP COATING SOLUTION COMPOSITIONS AND IMMERSION LITHOGRAPHY PROCESS USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20070040575(A) 申请公布日期 2007.04.17
申请号 KR20050096077 申请日期 2005.10.12
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOI, SANG JUN;CHO, HAN KU
分类号 G03F7/004;G03F7/00;G03F7/20 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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