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发明名称 DRY CLEANING DEVICE FOR CONTAINER COLLECTING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100710685(B1) 申请公布日期 2007.04.17
申请号 KR20050133741 申请日期 2005.12.29
申请人 K.C.TECH CO., LTD. 发明人 YOON, CHEOL NAM;PARK, JONG SOO;KIM, SE HO
分类号 H01L21/304;H01L21/02 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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