用于化学增幅正型阻剂之树脂之制造方法

摘要

一种将至少一种单体及/或至少一种经聚合之寡聚物聚合之用于化学增幅正型阻剂之树脂之制造方法以提供用于化学增幅正型阻剂之树脂，其中使用两种或更多种聚合反应起始剂以起始聚合反应，藉此以高产率获得树脂。