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经营范围
发明名称
在使用于液晶显示器的玻璃基板上制作导电性特征部的方法与设备
摘要
提供定义金属特征部成为液晶显示器(LCD)之一部份的方法与系统。将该方法施行于玻璃基板,且该玻璃基板具有在玻璃基板上所定义之包覆导电金属层(如阻障层)或玻璃基板之层。将一反向光阻遮罩施加于该包覆导电金属层上方。接着将一电镀弯液面形成于该反向光阻遮罩上方。该电镀弯液面包含至少一电解溶液与一电镀化学品,其中该电镀弯液面在未由该反向光阻遮罩所覆盖之该包覆导电金属层上方之区域中形成金属特征部。
申请公布号
TW200715567
申请公布日期
2007.04.16
申请号
TW095137403
申请日期
2006.10.11
申请人
兰姆研究公司
发明人
杰弗瑞 马克思
分类号
H01L29/786(2006.01)
主分类号
H01L29/786(2006.01)
代理机构
代理人
许峻荣
主权项
地址
美国
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