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发明名称
积体电路晶片之多层内连线结构
摘要
本发明揭示用于积体电路晶片的多层金属化布局,包括具金属化布局所连接之第一、第二、及第三元件的电晶体。此布局系最小化含电迁移的电流限制机制,此乃藉由自晶片垂直地设置第二接触连接;将金属化布局的平面及指状物重叠至第一及第二元件;及形成多层金属化层的金字塔或楼梯,以平顺对角线电流。
申请公布号
TW200715515
申请公布日期
2007.04.16
申请号
TW095122264
申请日期
2006.06.21
申请人
万国商业机器公司
发明人
大卫 罗斯 克林贝格;约翰 乔瑟芬 贝肯瑞;乔治 史考文
分类号
H01L23/522(2006.01)
主分类号
H01L23/522(2006.01)
代理机构
代理人
蔡玉玲
主权项
地址
美国
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