基板检查装置

摘要

本发明之基板检查装置包含有：保持器旋动机构，系可保持被检查基板而旋动者；背光，系可照射与被检查基板表面相反侧的里面者；及背光之移动机构。而为移动机构之旋动臂系由2根连杆、与为固定构件之固定板所构成。2根连杆各于一端设有预定间隔地支持于支持构件并可旋动。又，该等连杆之另外一端隔着预定间隔分别被支持于固定板上并可旋动，且背光系固定于固定板上。