| 摘要 |
本发明提供一种管理方法，对由多个制造制程制造电子元件的被管理制造线，管理各个制造制程中使用的各个制造装置，此管理方法包括：基准特性取得步骤，取得可执行多个制造制程的预定基准制造线所制造的基准元件的特性；比较元件制造步骤，由被管理制造线处理多个制造制程中的至少一个制造制程，并由基准制造线处理其他制造制程，以制造各比较元件；比较特性测定步骤，测定各比较元件的特性；特性比较步骤，比较基准元件的特性与比较元件的特性；以及判定步骤，根据特性差异，判定对比较元件处理后的被管理制造线的制造制程中所使用的制造装置之良否。 |
