电子束之束漂移修正方法及电子束之绘图方法

摘要

本发明之一态样下的电子束之束漂移修正方法的特征在于，边变更期间边于每次期间经过时修正电子束之束漂移，进而，除上述期间单位之修正以外，于特定干扰要素之值的变化产生特定之变化量时，不论上述期间之经过，亦修正上述电子束之束漂移。