用于双头雷射微加工系统之合成脉冲重复率处理

摘要

一种用于提高雷射微加工系统的处理量之方法及系统系运用超过一个雷射。二或更多个脉冲式雷射束(56,58)系组合且接着分离成为多个雷射束(80,82)，其致能系统以大于独立操作的雷射所可达成之脉冲率而同时运作于工件(20)上之多个位置，而且维持脉冲能量为等于或大于原始独立雷射束之各者的脉冲能量。大多数的雷射微加工应用系需要多个序列脉冲以处理一工件。提高脉冲率而且维持脉冲能量系可更为快速地移除材料，且因而提高雷射微加工系统的处理量。