镀膜设备及方法

摘要

本发明揭示一种镀膜设备及方法。上述镀膜设备包含：一镀膜站，具有至少一镀膜单元，其内提供第一相对湿度的环境条件，上述第一相对湿度高于上述镀膜设备所在的洁净室的相对湿度；一镀膜后处理站相邻于上述镀膜站，其内提供第二相对湿度的环境条件，上述第二相对湿度低于上述第一相对湿度。