用于离子束之静电透镜

摘要

一个与离子束植入器一起使用的透镜结构。该透镜结构系包括沿着离子方向间隔开的第一以及第二电极。该透镜结构系延伸横跨离子束的宽度，以偏折进入透镜结构的离子。透镜结构系包括用来将离子减速的第一电极以及用来将离子加速的第二电极。一个透镜结构模式控制器系选择性地起动加速或是减速电极，以造成进入透镜结构的离子以一个要求的轨迹脱离所述透镜结构，不管离子进入透镜结构的轨迹为何。