可移动传送室及包含此可移动传送室之基板处理装置

摘要

一种基板处理装置包含：复数个模块，其沿着一第一方向而安置，该等复数个模块中之每一者具有一可容纳一基板之内部空间；及一传送单元，其在该等复数个模块之间传送该基板，该传送单元包含沿着该第一方向而安置的至少一个轨道及沿着该至少一个轨道而移动的至少一个可移动传送室，其中该至少一个可移动传送室在移动时与外部气压隔离。