微影系统及投射方法

摘要

本发明与一个微影系统有关，其中将电子影像图案传送到曝光工具，以将一个影像投射到目标表面，该曝光工具包含一个控制单元以控制曝光投射，该控制单元至少部分包含在该曝光工具的投射空间中，并且透过光信号而具备控制资料，使用自由空间光学互连将该光信号耦合于该控制单元，该互连包含发射到该控制单元之光敏感部件的调变光射线，其中使用有孔镜子，调变的光射线系耦合于该光敏感部件，以进行该光射线在该光敏感部件的同轴入射，该镜子的一个孔或是另一选择为多个孔系提供作为该曝光投射的通道。