介电体膜及其制造方法

摘要

本发明系关于一种介电体膜之制造方法，其具有藉由加热形成于金属层上的前驱物层，形成介电体膜的烧步骤，且金属层含有选自由Cu、Ni、Al、不锈钢及英高镍组成之群的至少一种金属，于烧步骤的至少一部分中，于减压环境下加热前驱物层。