薄片剥离装置及剥离方法

摘要

为薄片剥离装置，系在被支撑于工作台13上面的晶圆W面上贴附黏着薄片S后，则沿着晶圆W的外缘切断黏着薄片S并剥离位于外侧的不需黏着薄片S1，该剥离装置，由在与晶圆W之间夹入黏着薄片S的小直径滚筒70、及在与小直径滚筒70之间夹入黏着薄片S的大直径滚筒71所构成，这些辊70、71会沿着工作台13移动而让不需黏着薄片S1剥离。