| 摘要 |
本发明提供一种基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系统，其可将基板可靠地搬出及搬入于多段结构之基板收纳箱体。本发明使用具有手22之机器人21将基板1搬出搬入于箱体11，上述手用以放置上述基板1于箱体，上述箱体系将从里侧向面前侧延伸之长支持部15以特定间隔呈多段状排列，并将基板1载置于各段之长支持部15上而将其多段收纳，其包含支承步骤A，其系支承欲载置对象基板1之长支持部15之面前侧端部16、或者载置有对象基板1之长支持部15之面前侧端部16，以扩大箱体11内手22之进入或后退之空间；并构成为从箱体11中搬出对象基板1之搬出步骤及向箱体11内搬入对象基板1之搬入步骤与上述支承步骤A一并进行。 |
