| 摘要 |
本发明包含一种长圆筒形溅镀标靶总成及一种用于制造该总成之方法。该长圆筒形溅镀标靶总成包含一具有长度大于约36英寸之圆筒形溅镀标靶，及包含一或多个圆筒形溅镀标靶区段；一圆筒形支持管；及一黏附层，诸如放置于圆筒形溅镀标靶与圆筒形支持管之间而用于将圆筒形溅镀标靶黏附至圆筒形支持管的铟。该方法包含准备圆筒形支持管之外表面及/或用于连结之一或多个圆筒形溅镀标靶区段之内表面的步骤；使圆筒形支持管与一或多个圆筒形溅镀标靶区段在一起，如此圆筒形支持管之外表面与一或多个圆筒形溅镀标靶区段之内表面互相相邻但相隔一空间，而一或多个圆筒形溅镀标靶区段具有总长大于36英寸；及当支持管以垂直方向定位时，使用包含铟之黏附材料填充该空间。 |
