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发明名称 METHOD FOR EXPANDING VERTICAL TRENCHES AND METHOD FOR FORMING EXPANDED VERTICAL DEEP TRENCHES
摘要
申请公布号 KR100708024(B1) 申请公布日期 2007.04.16
申请号 KR20017015414 申请日期 2001.11.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/3063 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
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