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发明名称 A DIE PICKUP APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20070040293(A) 申请公布日期 2007.04.16
申请号 KR20060084657 申请日期 2006.09.04
申请人 KABUSHIKI KAISHA SHINKAWA 发明人 NISHIO HIDEJI;SATOU YASUSHI;SASAKI SHINICHI;OHDAKA YUTAKA;NOBE TAKASHI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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