发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE FOR SECURITY OF POLISHING UNIFORMITY
摘要
申请公布号 KR20070040086(A) 申请公布日期 2007.04.16
申请号 KR20050095414 申请日期 2005.10.11
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 SONG, PIL KEUN;PARK, SANG JUN
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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