发明名称 Apparatus and method for manufacturing oxide aperture of VCSEL
摘要
申请公布号 KR100708081(B1) 申请公布日期 2007.04.16
申请号 KR20000026710 申请日期 2000.05.18
申请人 发明人
分类号 H01S5/18;H01S5/02;H01S5/183 主分类号 H01S5/18
代理机构 代理人
主权项
地址