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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR UNTERSUCHUNG VON LEITUNGSBRÜCHEN EINES INTEGRIERTEN SCHALTKREISES
摘要
申请公布号 AT357668(T) 申请公布日期 2007.04.15
申请号 AT20040001218T 申请日期 2004.01.21
申请人 RIKEN 发明人 TONOUCHI, MASAYOSHI;KAWASE, KODO;HIROSUMI, TOMOYA;FUKASAWA, RYOICHI
分类号 G01R31/02;G01R31/302;G01R31/311;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/311 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
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