发明名称 PLASMABEHANDLUNG ZUR REINIGUNG VON KUPFER ODER NICKEL
摘要
申请公布号 AT358735(T) 申请公布日期 2007.04.15
申请号 AT20040739149T 申请日期 2004.05.07
申请人 KOLEKTOR GROUP D.O.O. 发明人 MOZETIC, MIRAN;CVELBAR, UROS
分类号 B08B7/00;B23K1/20;C23G5/00;(IPC1-7):C23G5/00;H01L21/306 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
主权项
地址