METHOD OF MANUFACTURING MEMS ELEMENT AND OPTICAL MODULATOR HAVING FLAT SURFACE BY HEAT TREATMENT,申请号KR20060093043-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF MANUFACTURING MEMS ELEMENT AND OPTICAL MODULATOR HAVING FLAT SURFACE BY HEAT TREATMENT
摘要
申请公布号	KR20070039858(A)	申请公布日期	2007.04.13
申请号	KR20060093043	申请日期	2006.09.25
申请人	SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.	发明人	JANG, JAE WOOK
分类号	G02B26/08;G02B26/00	主分类号	G02B26/08
代理机构		代理人
主权项
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