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发明名称
DEPOSITION OF NANO-CRYSTAL SILICON USING A SINGLE WAFER CHAMBER
摘要
申请公布号
KR20070039964(A)
申请公布日期
2007.04.13
申请号
KR20077004420
申请日期
2007.02.23
申请人
APPLIED MATERIALS INC.
发明人
PANAYIL SHEEBA J.;LI MING;WANG SHULIN;PICKERING JONATHAN C.
分类号
C23C16/24
主分类号
C23C16/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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