发明名称 TEACHING JIG FOR SEMICONDUCTOR CLEANING EQUIPMENTS AND PROCESSING METHOD OF THE SAME
摘要
申请公布号 KR20070039768(A) 申请公布日期 2007.04.13
申请号 KR20050095029 申请日期 2005.10.10
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, GYOUNG HO;KIM, YONG MOK;CHOI, HO JIN
分类号 H01L21/304;H01L21/66 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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