发明名称 MASK, METHOD FOR MANUFACTURING A MASK, METHOD FOR MANUFACTURING AN ELECTRO-OPTICAL DEVICE, AND ELECTRONIC EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR100707553(B1) 申请公布日期 2007.04.13
申请号 KR20050026423 申请日期 2005.03.30
申请人 发明人
分类号 H05B33/10;C23C14/04;H01L51/50 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人
主权项
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