发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR FLUORINE-CONTAINING WASTE WATER TREATMENT
摘要
申请公布号 KR20070039723(A) 申请公布日期 2007.04.13
申请号 KR20050094933 申请日期 2005.10.10
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, TAE HWAN;AN, YOUNG SOO;KIM, TEA KIL;KIM, JE HUN
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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