EMBOSSING CHUCK WHICH CAN TAKE OFF WAFER EASILY,申请号KR20050108585-传众专利搜索

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发明名称	EMBOSSING CHUCK WHICH CAN TAKE OFF WAFER EASILY
摘要
申请公布号	KR100709589(B1)	申请公布日期	2007.04.13
申请号	KR20050108585	申请日期	2005.11.14
申请人	SOSUL INDUSTRY CO., LTD.	发明人	CHUNG, SENG HYUN
分类号	H01L21/68	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
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