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发明名称
AMMONIAK-FREIE ZUSAMMENSETZUNGEN MIT VERBESSERTER SUBSTRAT-KOMPATIBILITÄT ZUM REINIGEN VON MIKROELEKTRONISCHEN SUBSTRATEN
摘要
申请公布号
DE60218468(D1)
申请公布日期
2007.04.12
申请号
DE20026018468
申请日期
2002.07.08
申请人
MALLINCKRODT BAKER INC.
发明人
HSU, CHIEN-PIN SHERMAN
分类号
C11D3/26;C11D7/32;C11D3/00;C11D3/02;C11D3/20;C11D3/28;C11D3/30;C11D3/32;C11D3/33;C11D3/42;C11D3/43;C11D7/08;C11D7/26;C11D7/34;C11D7/50;C11D11/00;C23G1/18;C23G1/20;C23G5/036;G03F7/42;H01L21/304;H01L21/306
主分类号
C11D3/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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