发明名称 Halbleitervorrichtung mit einem LDMOS-Transistor und Verfahren zur Herstellung derselben
摘要 Eine Halbleitervorrichtung weist Folgendes auf: ein Halbleitersubstrat (1) mit einer ersten Halbleiterschicht (1a), einer Isolationsschicht (3) und einer zweiten Halbleiterschicht (2), die in dieser Reihenfolge gestapelt sind; einen LDMOS-Transistor (9a), der an der ersten Halbleiterschicht (1a) angeordnet ist; und einen Bereich (5, 5a, 5R, 5WU, 5WL, 5TU, 5TL) mit einer Dielektrizitätskonstanten, die geringer ist als die der ersten oder zweiten Halbleiterschicht (1a, 2). Der Bereich (5, 5a, 5R, 5WU, 5WL, 5TU, 5TL) berührt die Isolationsschicht (3) und ist zwischen einer Source und einem Drain des LDMOS-Transistors (9a) angeordnet. Die Vorrichtung weist in einer Richtung senkrecht zu dem Substrat (1) eine hohe Spannungsfestigkeit auf.
申请公布号 DE102006045214(A1) 申请公布日期 2007.04.12
申请号 DE200610045214 申请日期 2006.09.25
申请人 DENSO CORP. 发明人 YAMADA, AKIRA
分类号 H01L27/12;H01L21/84 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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