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Es wird ein Verfahren zur Schnell- oder Online-Bestimmung der Komponenten eines Zwei- oder Mehrstoffsystems, bei dem sich die Elemente der einzelnen Komponenten in ihrer Ordnungszahl unterscheiden, beschrieben. Es werden folgende Schritte durchgeführt: Die Oberfläche der Substanz wird mit polychromatischer Röntgen- oder monochromatischer Gammastrahlung bestrahlt, wobei die Röntgenstrahlung im Energiebereich zwischen 1 und 30 keV einen oder mehrere Peaks im Kontinuum aufweist. Das Spektrum der von der Substanz rückgestreuten und emittierten Strahlung wird in einem Energiebereich zwischen 1 und 30 keV mit einer Auflösung von mindestens 250 eV gemessen. Das Spektrum wird ausgewertet, wobei zumindest die Intensitäten der elastisch rückgestreuten und des inelastisch rückgestreuten Peaks separat ermittelt werden und wenigstens einige K¶alpha¶- oder L¶alpha¶-Fluoreszenz-Peaks im Energiebereich zwischen 1 und 30 keV benutzt werden, um den Einfluß einer schwankenden Elementarzusammensetzung innerhalb einer Komponente zu kompensieren.
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