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经营范围
发明名称
Plasma-Verdampfungsquelle mit Kathoden-Elektrode für eine Vakuum-Beschichtungsanordnung
摘要
申请公布号
DE50112099(D1)
申请公布日期
2007.04.12
申请号
DE20015012099
申请日期
2001.05.28
申请人
SATIS VACUUM INDUSTRIES VERTRIEBS-AG
发明人
SIEGRIST, BEAT
分类号
C23C16/503;H01J37/32
主分类号
C23C16/503
代理机构
代理人
主权项
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