DEVICE FOR RECORDING AN IMAGE OF AT LEAST ONE SURFACE OF A DISK-SHAPED OBJECT IN THE SEMICONDUCTOR INDUSTRY

摘要

Es ist eine Vorrichtung zur Aufnahme eines Bildes von mindestens einer Oberfläche (2a, 2b) eines scheibenförmigen Objekts (2) der Halbleiterindustrie offenbart. Die Vorrichtung umfasst eine Kamera (4), ein abtastendes System (6) und ein Umlenksystem (8). Die Kamera (4) und das scheibenförmige Objekt (2) ruhen relativ zueinander. Das abtastende System (6) ist mindestens entlang der gesamten Oberfläche (2a, 2b) des scheibenförmigen Objekts (2) mit einer ersten Geschwindigkeit (V1) bewegbar angebracht. Ebenso ist das Umlenksystem (8) das Licht vom abtastenden System (6) auf die Kamera (4) lenkt, entlang der Oberfläche (2a, 2b) des scheibenförmigen Objekts (2) mit der zweiten Geschwindigkeit (V2) bewegbar. Die Geschwindigkeiten sind parallel und gleichgerichtet.