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发明名称 Halbleiterspeicher mit vertikalen Charge-trapping-Speicherzellen und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE10260185(B4) 申请公布日期 2007.04.12
申请号 DE20021060185 申请日期 2002.12.20
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SACHSE, JENS-UWE;LUDWIG, CHRISTOPH;DEPPE, JOACHIM;KLEINT, CHRISTOPH
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8246;H01L27/105;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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